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柔性光開(kāi)關(guān)的可彎曲半徑如何突破1mm限制

2025-10-15

技術(shù)突破點(diǎn):①波導材料選用光敏聚酰亞胺(彎曲損耗<0.1dB@1mm半徑);②電極采用金納米線(xiàn)(拉伸率>10%);③封裝厚度<50μm。在智能繃帶應用中,實(shí)現對人體呼吸、脈搏的無(wú)創(chuàng )監測,獲FDA Class II醫療器械認證。


本文系統闡述了廣西科毅光通信科技有限公司在柔性光開(kāi)關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)突破,通過(guò)記憶合金基底、蛇形波導結構原子層沉積封裝工藝的創(chuàng )新組合,將可彎曲半徑從行業(yè)平均5mm降至0.8mm,同時(shí)保持插入損耗≤0.2dB@1000次循環(huán)。

 

 



1. 材料革命:記憶合金基底的突破

傳統光開(kāi)關(guān)采用不銹鋼基底(彈性模量200GPa),彎曲半徑難以突破5mm??埔銏F隊開(kāi)發(fā)的Ti-Ni-Cu三元記憶合金通過(guò)晶粒細化工藝,將彈性模量降至45GPa,同時(shí)保持700MPa的屈服強度。

 記憶合金基底微觀(guān)結構圖


圖1-1 Ti-Ni-Cu合金的馬氏體相變層(5μm厚度)與傳統不銹鋼的彈性模量對比

 

1.1 材料性能參數

指標

科毅記憶合金

行業(yè)平均水平

提升幅度

彈性模量

45GPa

200GPa

-77.5%

斷裂伸長(cháng)率

28%

12%

+133%

循環(huán)壽命(1mm半徑)

10?

103

+900%

 

 



 

2. 結構創(chuàng )新:蛇形波導的應力分散設計


采用有限元仿真優(yōu)化的蛇形路徑(曲率半徑0.8mm),使彎曲應力從傳統直線(xiàn)路徑的800MPa降至120MPa以下,避免波導斷裂。

 蛇形波導應力分布云圖

圖2-1 0.8mm彎曲半徑下的應力分布(藍→紅表示0→120MPa)

 

2.1 MEMS微鏡柔性鉸鏈

微鏡懸浮結構通過(guò)4組SiN彈性鉸鏈(1μm厚度)實(shí)現±5°偏轉,控制精度達0.01°,滿(mǎn)足光開(kāi)關(guān)快速切換需求(<10ms)。

 MEMS微鏡柔性鉸鏈結構

圖2-2 電磁驅動(dòng)式微鏡與應力緩沖鉸鏈設計

 

 

 



3. 制造工藝:飛秒激光與原子層沉積的融合

3.1 飛秒激光三維打印

采用1030nm波長(cháng)激光直寫(xiě)技術(shù),實(shí)現2μm特征尺寸加工,單個(gè)器件制造時(shí)間<10分鐘。

 飛秒激光三維打印步驟

圖3-1 激光直寫(xiě)→納米轉印→輪廓切割的工藝流程

 

3.2 原子層沉積封裝

Al?O?薄膜(50nm)通過(guò)ALD工藝實(shí)現水蒸汽透過(guò)率<1×10??g/m2·day,解決柔性器件長(cháng)期可靠性問(wèn)題。

 

原子層沉積封裝工藝圖

圖3-2 彎曲循環(huán)測試前后的薄膜完整性對比(無(wú)裂紋產(chǎn)生)

 

 

 



4. 性能驗證與應用場(chǎng)景

4.1 關(guān)鍵性能測試

? 彎曲損耗:0.8mm半徑下插入損耗0.2dB(行業(yè)平均1.2dB@5mm)

? 壽命測試:1000次循環(huán)后性能衰減<5%

 

彎曲半徑-損耗關(guān)系曲線(xiàn)

圖4-1 科毅FOS-1×2與行業(yè)產(chǎn)品的損耗對比

 

4.2 典型應用

4.2.1 醫療內窺鏡

直徑5mm探頭集成FOS-1×2光開(kāi)關(guān),實(shí)現1mm彎曲半徑下的微創(chuàng )診療光路切換。

 醫療內窺鏡集成示意圖


圖4-2 內窺鏡探頭剖面與光開(kāi)關(guān)位置標注

 

4.2.2 可穿戴設備光互連

華為Watch GT6 Pro表帶內嵌柔性光鏈路,功耗0.5mW,支持10Gbps數據傳輸。

 可穿戴設備光互連模塊

圖4-3 手腕運動(dòng)狀態(tài)下的光路穩定性示意


選擇合適的光開(kāi)關(guān)是一項需要綜合考量技術(shù)、性能、成本和供應商實(shí)力的工作。希望本指南能為您提供清晰的思路。我們建議您在明確自身需求后,詳細對比關(guān)鍵參數,并優(yōu)先選擇像科毅光通信這樣技術(shù)扎實(shí)、質(zhì)量可靠、服務(wù)專(zhuān)業(yè)的合作伙伴。


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(注:本文部分內容可能由AI協(xié)助創(chuàng )作,僅供參考)