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2025-09-23
在數字經(jīng)濟浪潮下,數據流量呈指數級增長(cháng),人工智能、高性能計算等前沿領(lǐng)域對數據傳輸的速率、功耗提出了前所未有的挑戰。硅基光電子技術(shù)(Silicon Photonics)作為突破電互連瓶頸的核心技術(shù),正從實(shí)驗室走向產(chǎn)業(yè)化,成為支撐未來(lái)信息社會(huì )的“光動(dòng)脈”。根據中國光學(xué)工程學(xué)會(huì )《硅基光電子行業(yè)發(fā)展報告》,2025年全球硅光芯片市場(chǎng)規模預計突破120億美元,中國市場(chǎng)占比將超30%,其中光開(kāi)關(guān)芯片作為光網(wǎng)絡(luò )的“神經(jīng)中樞”,市場(chǎng)需求年復合增長(cháng)率達45%。
廣西科毅光通信科技有限公司作為國家高新技術(shù)企業(yè),深耕光開(kāi)關(guān)領(lǐng)域16年,憑借軍工級品質(zhì)管控和自主創(chuàng )新能力,已實(shí)現MEMS光開(kāi)關(guān)、 磁光固態(tài)光開(kāi)關(guān)、光交換矩陣等核心產(chǎn)品的國產(chǎn)化突破。本文將從技術(shù)瓶頸分析、突破路徑探索、企業(yè)實(shí)踐案例三個(gè)維度,深度剖析硅光集成光開(kāi)關(guān)芯片的量產(chǎn)難題及解決方案,為行業(yè)提供可落地的技術(shù)參考。

圖1:硅光芯片生產(chǎn)工藝流程示意圖,涵蓋從晶圓制備到封裝測試的全流程
硅光芯片的測試成本占生產(chǎn)成本的80%(對比電芯片僅20%),成為制約規?;慨a(chǎn)的首要瓶頸。IEEE光子學(xué)刊2025年3期數據顯示,單通道測試耗時(shí)超電芯片10倍,主要源于:
? 多參數同步測試需求:需同時(shí)檢測插入損耗、偏振相關(guān)損耗(PDL)、串擾等12項光學(xué)參數,傳統電芯片測試設備無(wú)法兼容
? 高精度對準要求:光耦合對準精度需控制在±50nm,單次對準耗時(shí)達30秒,占測試總時(shí)長(cháng)的60%
? 測試設備壟斷:全球僅德國ficonTEC、美國FormFactor等少數廠(chǎng)商能提供商用硅光測試平臺,單臺設備售價(jià)超1500萬(wàn)元,且交貨周期長(cháng)達12個(gè)月
硅光芯片良率提升面臨材料、工藝、設計的多重挑戰:
? 材料異質(zhì)集成缺陷:III-V族激光器與硅波導鍵合界面存在晶格失配,導致每平方厘米產(chǎn)生10?個(gè)位錯缺陷,直接影響光信號傳輸效率
? 工藝精度波動(dòng):深紫外光刻的線(xiàn)寬誤差需控制在3nm內,蝕刻側壁粗糙度>1nm即會(huì )導致波導損耗增加2dB/cm(Semi Engineering 2025報告)
? 設計-制造協(xié)同不足:缺乏針對量產(chǎn)的DFM(可制造性設計)工具,實(shí)驗室原型良率可達70%,量產(chǎn)時(shí)驟降至50%以下
全球硅光產(chǎn)業(yè)鏈呈現“美歐設計-亞洲制造”的格局,國內企業(yè)面臨多重制約:
? 高端光刻機受限:ASML的EUV光刻機無(wú)法用于硅光芯片制造,DUV光刻機的套刻精度誤差需控制在3nm內
? 特種材料依賴(lài):SOI晶圓(絕緣體上硅)全球產(chǎn)能的80%集中于Soitec(法國),國內8英寸SOI晶圓國產(chǎn)化率不足15%
? EDA工具缺失:光子芯片設計軟件(如Synopsys OptSim)被納入出口管制,國內替代工具的仿真精度差距達10%
快速多通道光子對準(FMPA)技術(shù)通過(guò)固件級并行控制算法,將傳統單通道對準時(shí)間從30秒壓縮至250毫秒,效率提升120倍。其核心創(chuàng )新點(diǎn)包括:
? 六自由度同步優(yōu)化:采用PI(Physik Instrumente)納米定位平臺,實(shí)現X/Y/Z/θX/θY/θZ六軸聯(lián)動(dòng),對準精度達±20nm
? 智能梯度搜索算法:通過(guò)光功率反饋實(shí)時(shí)調整對準方向,較傳統區域掃描法減少80%的搜索時(shí)間
? 多通道并行處理:支持16通道同時(shí)對準,單個(gè)晶圓測試時(shí)間從8小時(shí)縮短至2小時(shí)

圖2:FMPA快速多通道光子對準系統的18軸雙對準架構示意圖,展示了探針臺與多通道對準算法的協(xié)同工作原理
廣西科毅光通信在其MEMS光開(kāi)關(guān)、4×4光開(kāi)關(guān)矩陣生產(chǎn)中引入FMPA技術(shù)后,光耦合效率從75%提升至92%,單機日產(chǎn)能從50片提升至300片,良率穩定在95%以上
注:數據來(lái)源廣西科毅光通信科技有限公司《MEMS光開(kāi)關(guān)量產(chǎn)工藝白皮書(shū)》。

圖3:MEMS光開(kāi)關(guān)矩陣結構示意圖,采用FMPA技術(shù)實(shí)現微鏡陣列的納米級對準
針對測試環(huán)節的成本痛點(diǎn),行業(yè)創(chuàng )新推出集光學(xué)探測、電學(xué)分析、環(huán)境模擬于一體的三合一測試設備:
? 多參數同步采集:集成光功率計、光譜儀、網(wǎng)絡(luò )分析儀功能,單次測試可獲取18項關(guān)鍵參數
? 自動(dòng)化測試流程:搭載AI缺陷識別算法,自動(dòng)分類(lèi)測試不良品,誤判率<0.5%
? 模塊化架構設計:支持從100G到1.6T速率的無(wú)縫升級,設備投資回報周期縮短至1.5年
據TechInsights 2025年7月報告,采用該設備可使硅光芯片測試成本降低60%,某頭部云廠(chǎng)商的超大規模數據中心應用后,單機架測試成本從8萬(wàn)美元降至3.2萬(wàn)美元。
異質(zhì)集成技術(shù)通過(guò)晶圓鍵合、微轉移印刷等技術(shù),實(shí)現不同材料體系的高效集成:
? III-V族/硅鍵合:采用等離子體活化鍵合技術(shù),實(shí)現InP激光器與硅波導的鍵合強度>20MPa,光耦合效率達85%
? 薄膜鈮酸鋰集成:將1μm厚的LiNbO?薄膜轉移至硅基平臺,調制帶寬突破100GHz,半波電壓降至1V(九峰山實(shí)驗室2025成果)
? 3D堆疊集成:通過(guò)硅通孔(TSV)技術(shù)實(shí)現光電芯片垂直互聯(lián),互聯(lián)密度達10?通道/cm2

圖4:硅基異質(zhì)集成工藝的鍵合與轉移步驟流程圖,展示從晶圓預處理到薄膜轉移的關(guān)鍵工序
廣西科毅光通信開(kāi)發(fā)的1×16磁光固態(tài)光開(kāi)關(guān)采用異質(zhì)集成技術(shù),將磁光晶體與硅波導集成,插入損耗≤0.8dB,開(kāi)關(guān)時(shí)間<1ms,已成功應用于量子通信實(shí)驗系統
注:應用案例參考廣西科毅光通信科技有限公司官網(wǎng)項目案例《量子光學(xué)實(shí)驗多通道光路切換系統》。
作為國內少數通過(guò)軍工認證的光開(kāi)關(guān)廠(chǎng)商,科毅建立了全流程質(zhì)量控制體系:
? 環(huán)境可靠性測試:產(chǎn)品經(jīng)過(guò)-40℃~+85℃高低溫循環(huán)(1000次)、振動(dòng)(20g加速度)、鹽霧(500小時(shí))測試,失效率<100FIT(每千小時(shí)故障數)
? 全參數自動(dòng)化檢測:自主研發(fā)光開(kāi)關(guān)測試平臺,覆蓋插入損耗、串擾、偏振相關(guān)損耗等23項參數,測試數據實(shí)時(shí)上傳MES系統
? 可追溯性管理:采用區塊鏈技術(shù)記錄從晶圓到成品的全流程數據,實(shí)現每只產(chǎn)品的原材料批次、工藝參數、測試結果的全程追溯
產(chǎn)品型號 | 技術(shù)參數 | 應用場(chǎng)景 | 行業(yè)對比優(yōu)勢 |
MEMS 4×4光開(kāi)關(guān)矩陣 | 插入損耗≤0.8dB,串擾≥55dB,壽命10?次 | 數據中心光交叉連接 | 較國外同類(lèi)產(chǎn)品成本降低40%,支持-40℃~+70℃寬溫工作 |
1×16磁光固態(tài)光開(kāi)關(guān) | 開(kāi)關(guān)時(shí)間<1ms,偏振相關(guān)損耗≤0.3dB | 量子通信、智能電網(wǎng) | 國內首款通過(guò)國網(wǎng)電力科學(xué)研究院認證的光開(kāi)關(guān)產(chǎn)品 |
4×64光交換矩陣 | 支持400~1670nm全波段,端口密度320通道/英寸 | 超算中心、衛星通信 | 全球少數能提供64×64無(wú)阻塞光交換的廠(chǎng)商之一 |
科毅為中科院量子信息重點(diǎn)實(shí)驗室定制的1×16磁光固態(tài)光開(kāi)關(guān),于2024年第二季度完成部署,實(shí)現8路糾纏光子態(tài)的實(shí)時(shí)切換,關(guān)鍵指標:
? 通道串擾≥60dB,確保量子態(tài)保真度>99.5%
? 同步切換時(shí)間<5ms,支持量子密鑰分發(fā)速率達10Mbps
? 長(cháng)期穩定性:連續工作3000小時(shí),插入損耗變化<±0.1dB

圖5:量子光學(xué)實(shí)驗中的多通道光路切換裝置實(shí)物圖,展示了帶有精密調節旋鈕的光學(xué)器械與硅光芯片的集成方案
該系統使實(shí)驗光路配置時(shí)間從傳統手動(dòng)調節的4小時(shí)縮短至15分鐘,光路切換效率提升40%,已應用于“京滬干線(xiàn)”量子通信骨干網(wǎng)的密鑰生成實(shí)驗
注:應用案例參考廣西科毅光通信科技有限公司官網(wǎng)項目案例《量子光學(xué)實(shí)驗多通道光路切換系統》。
在南方電網(wǎng)±800kV特高壓肇慶段監測項目(2023年9月-2024年3月實(shí)施)中,科毅的光交換矩陣實(shí)現:
? 32路光纖光柵傳感器的循環(huán)監測,覆蓋120公里輸電線(xiàn)路,掃描周期<2秒
? 工作溫度-40℃~+70℃,適應野外極端環(huán)境,系統可用性達99.99%
? 較傳統電學(xué)監測方案,故障率降低90%,運維成本減少60%

圖6:智能電網(wǎng)光開(kāi)關(guān)監測系統的通信網(wǎng)絡(luò )架構圖,展示了光開(kāi)關(guān)在中心主站與變電站之間的數據傳輸路徑

圖7:廣西科毅光通信的光開(kāi)關(guān)模塊自動(dòng)化測試產(chǎn)線(xiàn),采用三合一測試設備,單條產(chǎn)線(xiàn)日產(chǎn)能達500只
根據Yole Développement預測,全球硅光芯片市場(chǎng)將從2025年的120億美元增長(cháng)至2030年的360億美元,年復合增長(cháng)率24%。中國市場(chǎng)呈現三大增長(cháng)引擎:
? 數據中心互聯(lián):800G/1.6T光模塊滲透率將從2025年的35%提升至2030年的70%
? 5G/6G通信:5G前傳網(wǎng)絡(luò )對光開(kāi)關(guān)的需求達100萬(wàn)只/年,6G試驗網(wǎng)已啟動(dòng)太赫茲光開(kāi)關(guān)研發(fā)
? 新興應用拓展:車(chē)載激光雷達、量子通信、生物傳感等領(lǐng)域貢獻20%的增量需求
國內硅光產(chǎn)業(yè)正形成“設計-制造-封測”協(xié)同發(fā)展格局:
? 設計環(huán)節:華為海思、中科大智研院等企業(yè)推出硅光IP核,設計工具國產(chǎn)化率提升至30%
? 制造環(huán)節:中芯國際12英寸硅光產(chǎn)線(xiàn)良率突破85%,華虹半導體建成國內首條8英寸硅光中試線(xiàn)
? 封測環(huán)節:長(cháng)電科技開(kāi)發(fā)光子-電子協(xié)同封裝技術(shù),封裝成本降低35%
廣西科毅光通信作為產(chǎn)業(yè)鏈核心環(huán)節企業(yè),已與華為、中興、中科院量子信息重點(diǎn)實(shí)驗室等建立深度合作,參與制定《硅基光開(kāi)關(guān)芯片測試方法》等3項行業(yè)標準,推動(dòng)產(chǎn)業(yè)從“跟隨創(chuàng )新”向“引領(lǐng)創(chuàng )新”跨越。
硅光集成光開(kāi)關(guān)芯片的量產(chǎn)突破不僅是技術(shù)問(wèn)題,更是產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng )新的系統工程。廣西科毅光通信通過(guò)FMPA對準技術(shù)、異質(zhì)集成技術(shù)、軍工級品質(zhì)管控的三重創(chuàng )新,已實(shí)現從實(shí)驗室樣品到規?;慨a(chǎn)的跨越,為國內光電子產(chǎn)業(yè)突破“卡脖子”困境提供了可復制的經(jīng)驗。
針對不同應用場(chǎng)景,廣西科毅光通信提供定制化光開(kāi)關(guān)解決方案:
? 數據中心高密度互聯(lián):首選4×4/8×8 MEMS光開(kāi)關(guān)矩陣,支持1U機架內320通道光交叉連接
? 量子通信實(shí)驗系統:推薦1×16/1×32 磁光固態(tài)光開(kāi)關(guān),插入損耗≤0.8dB,開(kāi)關(guān)時(shí)間<1ms
? 智能電網(wǎng)監測網(wǎng)絡(luò ):采用4×64 光交換矩陣,實(shí)現分布式傳感數據的實(shí)時(shí)匯聚與切換
? 公司地址:廣西南寧市江南區同樂(lè )大道50號泉港企業(yè)總部基地10棟
? 聯(lián)系電話(huà):15677114556
? 電子郵箱:coreray@www.hellosk.com
? 官網(wǎng)鏈接:www.www.hellosk.com

圖8:硅光子集成芯片的掃描電鏡圖像,展示光波導、調制器、探測器的集成結構,芯片尺寸僅為1.2mm×0.8mm
注:本文行業(yè)數據綜合引用Yole Développement《2025硅光子市場(chǎng)報告》、中國信通院《光電子器件產(chǎn)業(yè)白皮書(shū)》;技術(shù)參數除特別標注外,均來(lái)自廣西科毅光通信科技有限公司產(chǎn)品規格書(shū)
選擇合適的光開(kāi)關(guān)是一項需要綜合考量技術(shù)、性能、成本和供應商實(shí)力的工作。希望本指南能為您提供清晰的思路。我們建議您在明確自身需求后,詳細對比關(guān)鍵參數,并優(yōu)先選擇像科毅光通信這樣技術(shù)扎實(shí)、質(zhì)量可靠、服務(wù)專(zhuān)業(yè)的合作伙伴。
訪(fǎng)問(wèn)廣西科毅光通信官網(wǎng)www.www.hellosk.com瀏覽我們的光開(kāi)關(guān)產(chǎn)品,或聯(lián)系我們的銷(xiāo)售工程師,獲取專(zhuān)屬的選型建議和報價(jià)!
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